靈敏度、反應(yīng)時間、清除時間、工作真空度、級限真空度及儀器入口處抽速是評價電力開關(guān)真空箱氦檢漏儀的主要性能指標。
①靈敏度及其校準
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度,通常指儀器的較小可檢漏率。記為qL.min,即在儀器處于較佳工作條件下,以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體,進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的*小漏孔漏率。所謂“*佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到*佳值,被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時間不大于3s。所謂“*小可檢”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時,才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲,一般指在2min內(nèi)輸出儀表的波動量。
②反應(yīng)時間、清除時間及其測定
反應(yīng)時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟,本底訊號為零(或補償?shù)搅悖r,由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間,記為τR。
清除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到值后,停止送氦,其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間,記為τC。
③工作真空、級限真空及入口處抽速
質(zhì)譜室級限真空,尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的級限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。
電力開關(guān)真空箱氦檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴散檢漏。
逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。
這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。